FLP系列的特點(diǎn)

• 低脈動

• 通過激光位移傳感器和接近開關(guān)不斷監(jiān)控波紋管的位置

  。泵本身無需任何附加設(shè)備即可減少脈動
  ，因?yàn)榭刂破鞔_定了通過電磁閥左右移動波紋管所需的適當(dāng)相移量。

• 減少傳感器

• 不需要外部傳感器

  ，因?yàn)椴y管的泵相位控制完全取決于設(shè)計(jì)中包含的激光和接近傳感器的信號
  。

• 高壓力

• 最佳的波紋管運(yùn)動增加了持續(xù)的壓力承受能力，在頻繁的負(fù)載變化下

  ，尤其是在單晶片加工中
  ，可保持穩(wěn)定的排放能力和壓力。

• 安全設(shè)計(jì)

• 焊接的波紋管結(jié)構(gòu)可防止液體泄漏

  。即使波紋管損壞
  ，內(nèi)置的泄漏傳感器也會檢測并提供反饋，以確保安全操作
  。

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